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全氟化合物吸附剂
• 适用气体类型：全氟化合物
• 目标气体：DCS,SiH4,WF6,HF,Cl2, SiCl4,ClF3,HBr,NF3, SF6等
• 吸收法：高温化学反应
• 规格：Φ4mm & Φ6mm
• 密度：(0.8-1) :1
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